传感技术的发展经历了三个阶段，即结构型传感器、物性型传感器和智能型传感器。
(1)结构型传感器以其结构部分变化或结构部分变化后而日I起某种场的变化来反映被测量的大小及变化。经常使用的方法是以传感器机构的位移或力的作用使传感器产生电阻、电感或电容等值的变化来反映被测量的大小。
(2)物性型传感器利用构成传感器的某些材料本身的物理特性在被测量的作用下发生变化，从而将被测量转换为电信号或其他信号输出。例如，利用半导体材料在热辐射照射下会产生各种光效应的特性可制成光敏电阻、光敏三极管等光敏元件。利用二氧化锡材料在某些气体作用下，其阻值会发生变化的特性可以制成气敏元件。由于物性型传感器无可动部件，，因此，可减少对被测对象的影响，从而能解决结构型传感器不能解凑的某些参数及非接触测量的问题，扩大了传感器应用。
(3)智能型传感器把传感器与微处理器地结合成一个高度集成化的新型传感器。它与结构型、物性型传感器相比．能瞬时获取大量信息，对所获得的信息还具有信号处理的功能，使信息的质量提高，其功能也扩展了。以网络化智能传感器为例，它以嵌入式微处理器为核心，集成了传感单元、信号处理单元和网络接口单元，使传感器由单一功能、单一检测向多功能和多点检测发展；从被动检测向主动进行信息处理方向发展；从孤立元件向系统化、网络化发展；从就地测量向远距离实时在线测控发展，它已成为传感器技术发展的主要方向之一。
