对于气敏传感器来说，最 重要的是制备过程，而制备过程又可分为气敏元件的制备和气敏材料的制备，由于目前的生产和生活中使用最 多的是半导体气敏传感器，所以本篇文章主要介绍半导体式气敏传感器的制备工艺。
1、气敏元件制备方法
气敏元件是气敏传感器的核心，所以气敏元件的制备尤为重要，主要是其材料的选用。气敏元件的制备方法主要有烧结法、薄膜法和厚膜法。
烧结法主要应用于SnO2型气敏传感器的气敏元件制备，是指将气敏传感器配件的电极和加热器埋在金属氧化物中，然后利用高温加热直至成型，最 后再借助低温来烧结。烧结法所用的高温一般为200~300℃。
薄膜法是用来制备ZnO气敏元件，采用真空镀膜工艺或溅射工艺，在石英或者陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜，这便构成了薄膜型气敏元件。
厚膜法是指将气敏材料与硅凝胶混合制成厚膜胶，然后在高温下烧结，制成厚膜型气敏元件，厚膜法所用的温度一般为400~800℃，此方法可进行批量生产。
2、气敏材料制备方法
气敏材料制备需要考虑多种因素，比如制备的成本、材料的纯度和操作的难易程度等。气敏材料的制备方法主要有：物相沉积法、化学气相沉积法和凝胶-溶胶法等。
物相沉积法又称为热蒸发法。使用该种方法制成的气敏材料纯度较高，但是此种方法对操作和使用的设备要求较高。热蒸发法利用真空蒸发、激光等方法将原料制成等离子体，然后在的介质中使其凝结成为所需要的气敏材料。
化学气相沉积法是利用两种或两种以上的气体原料进行的化学反应，之后通过冷凝形成纳米粒子。此方法主要用来制备半导体气敏传感器的气敏材料，制备的过程易于控制和操作且的材料纯度较高，但是的气敏材料的粒子尺寸较大。
凝胶-溶胶法广泛使用于制备气敏性金属氧化物薄膜。此种方法的操作简便、的气敏材料粒子活性较高、材料的纯度也很高，但是制备过程中的pH值和胶凝的速度会影响到材料的制备。凝胶一溶胶法是将原料分散在溶液中并经过水解形成活性单体，活性单体聚合成为溶胶然后生成凝胶，最 后经过处理等到纳米粒子。
气敏传感器产业正向着规模化、专 业化和自动化方向发展，由于近些年来经济的发展，气敏传感器也成为了一种的重要产品，新型气敏材料了深入的，气敏传感器技术也取得了较大进步，应用的也越来越广泛，在工业方面和民用方面都了充分的应用和发展。在工业方面主要体现在氧气传感器、毒性气体传感器等，在居民日常生活方面，主要应用于监控气体的泄露，防止火灾的发生以及检测酒精的浓度，降低发生交通事{l改的几率等。
当今全世界正面临着严峻的环境问题，环保被摆在位置，气敏传感器要想的发展，就向低功耗、低成本、多功能的方向发展。具体应从以下三个方面着手：①提高其反应的灵敏程度和其工作性能、降低消耗，减少气敏材料制备过程的能耗；②要减少成本、简化操作过程、缩小气敏传感器的体积，使其方便的被人们所使用；③要把气敏传感器向多功能发展，发现其的用途，使气敏传感器的使用范围较现在跟为广泛。
除此之外，气敏传感器发展还应该注重市场的走向，以国民经济现代化需求和人民生命财产服务为目标，大力新型气敏元件传感器，生产专 业的气敏元件传感器，做好宣传工作，广泛使用气敏传感器，发展和完善气敏元件传感器、变送器、警报器和应用装置系统等气敏综合应用技术，组建有竞争力的企业集团，有自己知识产权的产品，推动我国气敏技术跨上一个新台阶。在具备条件的企业或企业集团建立技术中心，配备手段；产品工艺方面，解决厚膜、电化学和集成工艺技术，主要产品质量达到世界同期水平，具有知识产权的新产品如常温低功耗(电池供电)气敏传感器，新型环境气敏传感器等。
