传感器的发展, 以的技术为支撑,提高传感器的综合性能。传感器的发展 攻克的关键技术有:
a)传感器制造关键工艺
现代传感器体积小、重量轻和能源消耗小的特点,要求在现制造中应广泛使用MEMS微机电工艺等技术来达到目的。MEMS微机电工艺技术类似集成电路制作上艺技术,主要包括硅的各向异性刻蚀技术、硅/硅键和技术、表面微机械加工技术和LIGA技术等。
b)传感器的信号传输技术
现代战争是在复杂地磁环境下的战争,敌我双方将广泛开展电子对抗和反对抗,基本覆盖电磁波全波段。复杂地磁环境将对传感器产生的微弱信号产生强烈干扰。、地将传感器监测到的信号准确传输至指挥控制系统将是至关重要的技术。
c)多传感器信息融合技术
现代战争中将运用多种侦察手段以及反侦察手段,敌我双方都会对重要目标进行隐蔽,对重要和相关信息隐真示假。各种侦察传感器传回的信息将包含大量虚假信息,有一些甚至是相反信息, 运用多传感器信息融合技术才可能将正确信息识别出来。
d)网络传感器技术
目前,网络传感器主要解决的关键技术包括传感器的能源使用和管理技术、传感器的组网和信息传输技术等。