MEMS(Microelectro Mechanical Systems)微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的，涉及电子、机械、材料、物理、化学、生物和医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。利用MEMS加工制备的新一代传感器件，在传输前可进行信号的放大，减少干扰和传输噪声，提高信噪比。同时，芯片上集成有反馈线路和补偿线路，可地输出的线性度和频响特性。MEMS传感器有微机械加速度传感器、微机械角速度传感器、微型压力传感器、微型磁传感器、微型光传感器、微型热传感器、微型气敏传感器、微型化学传感器、微型生物传感器和微型电场传感器等。
MEMS传感器目前主要应用在汽车行业和电子产品中。如MEMS压力传感器在汽车电子控制系统中可用于测量进气歧管压力、油压和轮胎气压等。特别值得一提的是测量燃油喷射的MEMS压力传感器，其长期与液体燃料接触，承受较高的压力，在这种苛刻的环境中表现出了较好的适应性和性。苹果公司的iphone4是使用陀螺仪的手机，并使用声波传感器(麦克风)声音质量，达到降噪的目的。
MEMS传感器在农业中的应用主要集中在制造超光谱成像系统上，利用超光谱成像技术可以随时观测货架上食物的霉变情况，也可用来鉴定商品商标的真伪。光子学和MEMS的机构Infotonics与 康奈尔大学合作，研制了一种基于电容率的传感器，可以实时监视并固定牛奶中的病原体，如发生固化，病原体附着在传感器阵列的分子探针上，引起电容发生变化，用其和参考传感器的电容作对比，则可证明病原体的存在。这在检查奶牛乳腺炎的过程中发挥了积极的作用，可以较早发现病症，减少奶农损失。
